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有機廢氣一般都存在易燃易爆、有毒有害、不溶于水、溶于有機溶劑、處理難度大的特點。在有機廢氣處理時普遍采用的是有機廢氣活性炭吸附處理法、催化燃燒法、催化氧化法、酸堿中和法、等離子法等多種原理。一般推薦使用等離子法，因為低溫等離子法具有去除效率高使用方便的特點。比較好的有機廢氣處理方法是催化氧化凈化系統，廢氣處理設計周密、層層凈化過濾廢氣，效果較好。但要看到無論哪一種等離子都是以高壓放電為主，產生放電打火，日本大阪大學1991年10月2日16時，就發生等離子體爆炸，當場炸死2人，輕傷5人。所以不建議在化工醫藥行業運用。